飛行時間二次離子質(zhì)譜儀利用聚焦的一次離子束在樣品上進行穩(wěn)定的轟擊,一次離子可能受到樣品表面的背散射(概率很小),也可能穿透固體樣品表面的一些原子層深入到一定深度,在穿透過程中發(fā)生一系列彈性和非彈性碰撞。
飛行時間二次離子質(zhì)譜儀在市場中受到廣大的注意和關注也是和它的技術優(yōu)勢密不可分,下面為具體技術特點:
飛行時間二次離子質(zhì)譜儀的產(chǎn)品優(yōu)勢:
1.三重聚焦飛行時間質(zhì)量分析器:用于接收和傳輸二次離子;其包括三套90º扇形靜電分析器(ESA);擁有共點觀察,寬角度能量接收和高景深,提高了質(zhì)量分辨率,對粗糙、表面不平整(有Patterns)、表面有優(yōu)異靈敏的化學成像和成分分析能力;
2.液態(tài)金屬離子槍LMIG可同時進行高質(zhì)量采譜和成像分析:采用HR2模式(即高質(zhì)量分辨模式下保持高空間分辨模式)的化學態(tài)/分子成像能力,使之可同時在高空間分辨和高質(zhì)量分辨下進行分析,其使用高分析束流( i.e. ≥ 1 nA),因此分析時間依然可以控制在短時間內(nèi),e.g. ≤ 10 min;
3.脈沖荷電中和系統(tǒng)和電子控制系統(tǒng):在分析絕緣材料時可對荷電效應進行自動中和;采用低能量脈沖、聚焦電子槍和超低能量的離子束流進行荷電中和使系統(tǒng)適于高分子和玻璃等絕緣材料分析;
4.全自動化分析能力:使用高精度5-軸樣品臺可在快速進樣腔室和分析腔室里運行,在進樣腔室里可直接把樣品托安裝在樣品臺上;從進樣腔室到分析室全自動控制,無需手動傳輸;
5.GCIB離子槍:對于許多有機材料,聚合物和生物樣品,這種離子源在采集代表分子主要結(jié)構(gòu)的二次離子碎片時可獲得較大的二次離子產(chǎn)額,同時擁有較佳的成像和采譜性能;
6.樣品傳輸裝置:可在真空或惰性氣體環(huán)境下從其它設備或手套箱中轉(zhuǎn)移樣品到儀器分析腔室里進行分析,保護樣品表面在分析前不受環(huán)境,空氣和氧氣的影響;
7.低噪音背景和亞穩(wěn)離子抑制的能力。