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簡要描述:ESPion高級(jí)朗繆爾探針(Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation)可快速、可靠、準(zhǔn)確地進(jìn)行等離子體診斷,是先進(jìn)可靠的Langmuir探針。
品牌 | 其他品牌 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子 |
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ESPion高級(jí)朗繆爾探針(Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation)可快速、可靠、準(zhǔn)確地進(jìn)行等離子體診斷,是先進(jìn)可靠的Langmuir探針。
·Hiden在被動(dòng)射頻補(bǔ)償方面處于較高地位,在所有的商業(yè)化探針中 ESPion具有高的屏蔽阻抗(4.25Mohm at 13.56 MHz cf. 100kohm)
·參考探針補(bǔ)償用于抵制較低頻率影響,例如等離子體電位漂移(如,反應(yīng)室內(nèi)腔陽極氧化所致) 或噪音(如,供電源引起)。
·高溫等離子體操作時(shí)的氣體制冷多感應(yīng)器鏈,使用者可調(diào)諧至其他頻率。
·獲得數(shù)據(jù)速度:15scans/s
·通過D-O-E-界面可以自動(dòng)/半自動(dòng)/手動(dòng)分析
·300、600、915mm 自動(dòng)線性驅(qū)動(dòng)器可選,互鎖隔離閥
·90°探針,組合式線性-旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器可選
·ESPion 是所有商業(yè)化探針中快速的脈沖等離子體探針
·ESPsoft 包括所有必需的標(biāo)準(zhǔn)脈沖選通電路
·自清洗循環(huán),防止探針污染
·等離子體診斷經(jīng)由RS232、RS485、Ethernet LAN 和 ESPsoft軟件控制
上一產(chǎn)品:ABR穿透曲線測試
下一產(chǎn)品:TOF-qSIMS飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀
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